ターボ分子ポンプ UTM-B
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この製品について

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

特長
■取り付け方向自由取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。

■オンボードコントローラ搭載コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。

■高圧縮比・高排圧圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。

■3種類のフランジを用意VG、ICF、ISO-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。

■清浄な真空運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。

■用途・分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
・蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
・H2、Heなどの軽ガスの主排気系

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ターボ分子ポンプ UTM-B

取扱企業
株式会社アルバック

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

ポンプ

タービンポンプ

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ターボ分子ポンプ UTM-B 品番1件

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商品画像	品番	価格 (税抜)	ポンプ冷却方式	フランジ口径 (吸気口)	フランジ口径 (排気口)	排気速度 (保護ネットなし時) N2	排気速度 (保護ネットなし時) He	排気速度 (保護ネットなし時) H2	到達圧力 (ベーキング後)	到達圧力 (ベーキング前)	最大圧縮比	最大吸気口圧力 (N2)	最大排気口圧力 (N2)	連続運転最大流量ガスパージ無 (N2)	推奨補助ポンプ	質量	回転数	起動時間 (80%まで)	表面処理	取り付け方向	騒音	入力電源	接点入出力	シリアル通信	LED表示	スイッチ	回転数可変	異常検出	保護動作
	UTM70B	要見積もり	自然空冷/強制空冷	VG65, ICF114, ISO063-K	KF16	70L/s	60L/s	49L/s	-3	10^-6Pa	N2:>1×10 9, He:4×10 7, H2:4×10 5	0.43Pa	300Pa	15sccm	60L/min以上	VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg	87,000rpm	(DC24V 背圧5Pa以下時) 1.7分	無し	全方位	48dB (A) 以下	DC24V ±5%, 120W	REMOTE (D-sub15ピンオス) デジタル入出力4点,アナログ出力1点	RS-485 (D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用)	POWER,NORMAL,ALARM	START/STOP,RESET	ポンプ既定回数の25%~100%の間で回転数の変更が可能 (設定は0.1%単位)	アラーム,ワーニングを検出	アラーム,ワーニングを表示