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スクリュー型ドライ真空ポンプ MS-MS120A
スクリュー型ドライ真空ポンプ MS-株式会社アルバック

スクリュー型ドライ真空ポンプ MS
株式会社アルバック

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この製品について

MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プロセス型のドライ真空ポンプです。腐食性ガスや粉体排気を伴う真空プロセスで使用することを考慮し設計されています。

■特長

・ロータシャフトやシリンダー等の主要部材に特殊表面処理を施す事により高い耐食性を実現しています。 ・スクリュー型のロータシャフトにULVAC独自のユニーク設計によって高い粉体排出性を実現しています。 ・大気圧から到達圧力まで全圧力領域で連続運転が可能です。

■用途

・電子部品・半導体製造装置の真空排気系 ・エッチング装置、アッシング装置、プラズマクリーニング装置 など ・真空熱処理炉の真空排気系、焼結炉、浸炭炉 など ・リチウム電池製造装置の真空排気系、電極乾燥装置、脱泡装置、注液装置 など ・医療・食品関連装置の真空排気系、凍結乾燥装置、真空乾燥装置 など

■標準付属品

クイックマニュアル、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード、専用サイレンサー1式

■本体オプション

・電源電圧:200V級または400V級 ・シール部材質:フッ素ゴム (FKM) or パーフロロエラストマー (FFKM) ・外部オプション:筐体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット (吸気口、信号) 、パージガスバルブ

  • シリーズ

    スクリュー型ドライ真空ポンプ MS

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スクリュー型ドライ真空ポンプ MS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大排気速度 (m3/h) 到達圧力 (Pa) 電源電圧 消費電力概略値 (kW) 冷却水量 (L/min) パージガス量 (SLM) 最大水蒸気処理量 (kg/h) 騒音値 (dB (A) ) 吸気口 排気口 質量 (kg) 適合規格
スクリュー型ドライ真空ポンプ MS-品番-MS120A

MS120A

要見積もり

115

≦0.6

3相、50/60Hz、AC200-240V±10% または3相、50/60Hz、AC380-480V±10%

2.4

>4.0

0~50

1.5

61

KF50 (水平) / VG50 (垂直)

KF40

139

CE、cTUVus

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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