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ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品141点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 動作方向 | 駆動制御 | 移動範囲 (0~120V) (μm±20%) | 移動範囲 (0~150V) (μm±20%) | センサータイプ | 貫通穴サイズ (mm) | 外形寸法 (mm) | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループの繰り返し位置決め精度 | ピッチ/ヨー/ロール (μrad) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 荷重 (400g) に対する共振周波数 (Hz±20%) | キャリングキャパシティ (kg±5) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | 重量 (g±5%) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
XD107.XY100Z20S |
要見積もり |
X、Y、Z |
3軸制御 |
XY80/Z64 |
XY100/Z80 |
SGS |
50×50 |
94×94×24.5 |
3 |
XY0.2/Z0.1 |
XY0.02/Z0.02%F.S. |
≦30 |
XY220/Z160 |
XY110/Z80 |
0.4 |
XY3.6/Z1.8 |
スチール、アルミニウム |
420 |
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移動範囲: 50 - 100µm
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000