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ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S-XD107.XY100Z20S
ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S-ワイヤード株式会社

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ワイヤード株式会社



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この製品について

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、貫通穴のある直線ピエゾ位置決めプラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます。ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは高い信頼性と高い分解能を持ち、非常に優れた移動直線性と平面性、およびより高い機械的強度を備えています。主に顕微鏡ステッピング移動などで使用され、光学システムの解像度を向上させるための高速なステップおよび安定した移動を実現します。これには、カメライメージングプロセス技術や生物認識技術など、光学系におけるアプリケーションが含まれます。また、特徴的な点として、中央に大きな貫通穴があるということが挙げられます。これにより、より良い光学パス条件を光学系に提供することができます。 ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、透光精密光学デバイスの位置合わせと調整に主に使用され、顕微鏡や分析機器と組み合わせて位置合わせや測定に使用されます。これには、走査プローブ顕微鏡 (例 原子間力顕微鏡) 、ナノポジショニング、計測、生物学研究、マイクロエレクトロニクス、マイクロ操作、精密制御などの応用があります。 ピエゾ位置決めステージXD107シリーズは、サンプル顕微鏡のイメージング用途向けに、中央に正方形の貫通穴を持つ3軸ピエゾ位置決めステージです。

  • シリーズ

    ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S

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ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 動作方向 駆動制御 移動範囲 (0~120V) (μm±20%) 移動範囲 (0~150V) (μm±20%) センサータイプ 貫通穴サイズ (mm) 外形寸法 (mm) クローズド/オープンループ分解能 (nm) 閉ループ直線性 (%F.S.) クローズドループの繰り返し位置決め精度 ピッチ/ヨー/ロール (μrad) 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) 荷重 (400g) に対する共振周波数 (Hz±20%) キャリングキャパシティ (kg±5) 静電容量 (μF±20%) 素材 重量 (g±5%)
ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S-品番-XD107.XY100Z20S

XD107.XY100Z20S

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X、Y、Z

3軸制御

XY80/Z64

XY100/Z80

SGS

50×50

94×94×24.5

3

XY0.2/Z0.1

XY0.02/Z0.02%F.S.

≦30

XY220/Z160

XY110/Z80

0.4

XY3.6/Z1.8

スチール、アルミニウム

420

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会社概要

ワイヤード株式会社は、オーダーメイドのシステム装置・位置決め装置を設計・開発・製造するメーカーです。 1999年に創立し、長年の位置決め装置開発のノウハウにより、ニーズに応じたカスタム検査装置、光学システム製品、光学設...

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  • 本社所在地: 東京都
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