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エドワーズ真空ポンプ スクロールポンプ nXDSシリーズ-nXDS6i
エドワーズ真空ポンプ スクロールポンプ nXDSシリーズ-キヤノンアネルバ株式会社

エドワーズ真空ポンプ スクロールポンプ nXDSシリーズ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

独自のベアリングシールド構造による完全オイルフリーの実現で、水蒸気によるベアリンググリース劣化防止、メンテナンスサイクルを長期化します。 エドワーズ社のXDSスクロールポンプは特許を取得したベアリングシールドを使用。その革新的な構造により、真空環境はあらゆる潤滑油から隔離され完全にドライな状況を維持、ベアリングもあらゆるプロセスガスから保護されます。また調整式ガスバラストの採用で、従来のスクロールポンプでは実現できなかった水蒸気の処理が可能になり、アプリケーションの適用範囲が広がりました。 特長

■クリーン排気

排気機構に潤滑油を使用せず、清浄な真空が得られます。

■メンテナンス

シンプルな構造ですので短時間で分解、組立が出来ます。また、オイルを使用していないのでクリーンなメンテナンス環境が得られます。

■XDS ポンプは特許ベアリングシールドを採用

真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます

■用途

・走査型電子顕微鏡 ・真空装置 ・真空熱処理炉 ・理化学実験用

  • シリーズ

    エドワーズ真空ポンプ スクロールポンプ nXDSシリーズ

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エドワーズ真空ポンプ スクロールポンプ nXDSシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 実効排気速度 (L/min) 50/60Hz 到達圧力 (Pa) 吸気接続 排気接続 最大許容水蒸気圧 (Pa) 最大水蒸気処理量 (g/h) 供給電圧 (V) 50/60Hz モータ出力 (W) ガスバラスト 使用温度範囲 (℃) 質量 (kg)
エドワーズ真空ポンプ スクロールポンプ nXDSシリーズ-品番-nXDS6i

nXDS6i

要見積もり

103

2

NW25

NW25

3,500

110

単相 100 ~ 127 / 200 ~ 240

260

有り (0、Ⅰ、Ⅱ切替)

5~40

26.2

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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