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創造的かつ革新的プラズマCVDシステムVDS-5800SNC取扱企業
株式会社日本生産技術研究所カテゴリ
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プラズマCVD装置の製品40点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 成膜膜種 | ウエハサイズ | 目的 |
---|---|---|---|---|---|
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VDS-5800SNC |
要見積もり |
SiN/SiO2/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSG |
~150mm |
R&D、量産試作、量産ライン |
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