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高精度XYステージ-高精度XYステージ
高精度XYステージ-新東Vセラックス株式会社


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この製品について

液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージ

■特徴

・高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。 ・真直度精度:1μm以下を実現。 ・姿勢精度:2秒以下の高精度を実現。 ・最長3500stまで可能 ・再現性0.2μm以内可能

■用途事例

・液晶パネル検査装置 (G4.5,G5,G8) ・XYテーブル ・位置決め装置 ・画像処理検査 ・FPD検査装置 ・光導波路位置決め装置 ・ウエハー検査 ・ウエハー加工 ・レーザー加工 ・精密組立装置 ・精密加工装置 ・液晶パネル製造工程装置 ・半導体製造工程装置

  • シリーズ

    高精度XYステージ

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高精度XYステージ 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜)
高精度XYステージ-品番-高精度XYステージ

高精度XYステージ

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使用用途: 微細加工

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使用用途

#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

新東Vセラックス株式会社は、構造セラミックスの製造・販売を主な事業としている企業です。 大手鋳造設備メーカーの新東工業株式会社のグループ会社で設立は1993年、愛知県豊川市に本社と工場を置いています。 従来のセラミッ...

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  • 本社所在地: 愛知県
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