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Atomic Layer Deposition (原子層堆積)取扱企業
株式会社北海光電子カテゴリ
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ALD装置の製品4点中、注目ランキング上位4点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウエハーサイズ | 排気系 | 到達真空度 | 制御系 | 成膜用ガス導入バルブ | パージガス導入バルブ | 電源 | 圧縮空気導入口 | 基板ヒーター | その他 |
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原子層堆積装置 |
要見積もり |
4インチ |
ドライポンプ |
5Pa以下 |
制御用PLC/タッチパネル |
4基 |
1基 |
三相200V/50A |
ф6mm |
350℃MAX (ф130) |
非常停止機能付 |