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ウエハボンディング装置 EBM-200HCD取扱企業
日本エンギス株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | プレッシャープレート材質 | ウエハサイズ | ウエハの配置 | 空圧機器 | 加熱方式 | ワックスディスペンサー | 冷却方式 | シャッター開閉 | 稼働状況通知 | 電源 | 本体寸法 (WxDxHmm) | 重量 (Kg NET) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EBM-200HCD |
要見積もり |
SUS (⌀250mm) |
Max.⌀248mm |
手動 |
エアシリンダー⌀100 / ストローク:250mmL |
電熱Max.150℃ |
電熱式タンクMax.150℃ |
外部チラーによる冷却水循環 (タイマー制御) |
エアシリンダー / セレクトスイッチ |
3色シグナルタワー ブザー付 |
3相 AC200V 50/60Hz |
780x750x1,870 |
400 |
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