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6,8インチ兼用、及び、SEMI規格ウェハに対応したウェハ移載機 ウェハ自動移載機取扱企業
ヒューグルエレクトロニクス株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月2日にレビュー済み
顧客対応への満足度
丁寧でスピーディーな対応をしていただき、とても助かりました。
初回対応までの時間への満足度
4.46時間
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半導体製造装置の製品183点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウェハ | 対応カセット | 移載時間 | 安全機構 | 外寸 | 重量 | 電源 | 真空 | 圧空 | 制御 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ウェハ自動移載機 |
要見積もり |
6インチ (OF) 、8インチ (Vノッチ) ：裏面真空吸着可能なウェハ |
6インチスロットピッチ4.7625mm25スロット |
約3分/25枚*アライメントあり：約8分 (各マッピング動作なし) |
非常停止ボタン・LED積層表示灯・カーテンセンサ |
840mm (W) x700mm (D) x625mm (H) *表示灯、モニタなど除く |
約66kg |
AC100V10A |
-53kPa以上 |
0.5MPa以上 |
Windows1064bitを本体に内蔵、10.1インチタッチパネル、GUI |
半導体製造装置の中で同じ条件の製品
ウェハーサイズ: 200 - 250mm
半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 1 - 2 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260
