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6,8インチ兼用、及び、SEMI規格ウェハに対応したウェハ移載機 ウェハ自動移載機取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウェハ | 対応カセット | 移載時間 | 安全機構 | 外寸 | 重量 | 電源 | 真空 | 圧空 | 制御 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ウェハ自動移載機 |
要見積もり |
6インチ (OF) 、8インチ (Vノッチ) ：裏面真空吸着可能なウェハ |
6インチスロットピッチ4.7625mm25スロット |
約3分/25枚*アライメントあり：約8分 (各マッピング動作なし) |
非常停止ボタン・LED積層表示灯・カーテンセンサ |
840mm (W) x700mm (D) x625mm (H) *表示灯、モニタなど除く |
約66kg |
AC100V10A |
-53kPa以上 |
0.5MPa以上 |
Windows1064bitを本体に内蔵、10.1インチタッチパネル、GUI |
