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モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840-HS-1840
モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840
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この製品について

長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発されたHS-1840ウェハ拡張装置。モーター駆動ステージを採用し、使い易さ、精度、汎用性に優れた装置です。又、ウェハやチップの転写用途にご使用いただくことが可能です。

■製品概要

・モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能 ・ステージストローク調整機構 (1mm単位で設定可能/Max80mm) ・タッチパネルによるコントロール ・拡張レシピ保存が可能 (4レシピ) ・フィルム予備加熱機構 (タイマー付) ・ステージ加熱 (Max.100℃) ・ステージ上昇速度可変機構 ・フィルムオートカット機構 ・最大ウェハサイズ8インチ ・各種拡張リング、フレーム対応 ・ウェハやチップの転写用途に使用が可能 ・タッチパネルオペレーション ・最大4つのレシピの保存が可能 ・安全対策アッパークランプ落下防止ダンパー ・安全対策漏電ブレーカー標準装備

  • シリーズ

    モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840

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モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電源 重量 サイズ
モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840-品番-HS-1840

HS-1840

要見積もり

AC100V5A、50/60Hz

30kg

655 (D) ×386 (W) ×335 (H) mm

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半導体製造装置をフィルターから探すことができます

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都

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