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モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840-HS-1840
モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840
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この製品について

長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発されたHS-1840ウェハ拡張装置。モーター駆動ステージを採用し、使い易さ、精度、汎用性に優れた装置です。又、ウェハやチップの転写用途にご使用いただくことが可能です。

■製品概要

・モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能 ・ステージストローク調整機構 (1mm単位で設定可能/Max80mm) ・タッチパネルによるコントロール ・拡張レシピ保存が可能 (4レシピ) ・フィルム予備加熱機構 (タイマー付) ・ステージ加熱 (Max.100℃) ・ステージ上昇速度可変機構 ・フィルムオートカット機構 ・最大ウェハサイズ8インチ ・各種拡張リング、フレーム対応 ・ウェハやチップの転写用途に使用が可能 ・タッチパネルオペレーション ・最大4つのレシピの保存が可能 ・安全対策アッパークランプ落下防止ダンパー ・安全対策漏電ブレーカー標準装備

  • シリーズ

    モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840

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モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電源 重量 サイズ
モーター駆動ステージを採用し 使い易さ 精度 汎用性に優れた装置 HS-1840-品番-HS-1840

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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