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グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置 HS-1840-AC-HS-1840-AC
グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置 HS-1840-AC-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置 HS-1840-AC
ヒューグルエレクトロニクス株式会社

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この製品について

グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置です。ステージ内蔵のカッター機構で、テープスカート部を極力短くし、その後のハンドリングを容易にします。又、ウェハやチップの転写用途にご使用いただくことが可能です。

■製品概要

・グリップリング、オートクランプ機構 ・ステージ内蔵テープオートカット機構 ・タッチパネルによるコントロール ・フィルム予備加熱機構 (タイマー付) ・ステージ加熱 (Max.100℃) ・ステージストローク調整機構 (Max.80mm、1mmレンジ) ・ステージ上昇速度可変機構 ・最大ウェハサイズ8インチ ・各種拡張リング、フレーム対応 ・モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能 ・ウェハやチップの転写用途に使用が可能 ・タッチパネルオペレーション ・最大4つのレシピの保存が可能 ・安全対策アッパークランプ落下防止ダンパー ・安全対策漏電ブレーカー標準装備

  • シリーズ

    グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置 HS-1840-AC

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グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置 HS-1840-AC 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電源 重量 サイズ
グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置 HS-1840-AC-品番-HS-1840-AC

HS-1840-AC

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655 (D) ×386 (W) ×416 (H) mm

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会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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