ドライ真空ポンプクリーンプロセス用大排気速度ドライポンプ TSシリーズ-TS100

ドライ真空ポンプクリーンプロセス用大排気速度ドライポンプ TSシリーズ-株式会社宇野澤組鐵工所

ドライ真空ポンプクリーンプロセス用大排気速度ドライポンプ TSシリーズ-TS100

ドライ真空ポンプクリーンプロセス用大排気速度ドライポンプ TSシリーズ
株式会社宇野澤組鐵工所

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この製品について

消費電力が少なく耐久性に優れた｢クリーンプロセス用ECOドライ真空ポンプ｣です。オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。

■少ない消費電力多段ルーツ式であるため消費電力を大幅に削減することが出来ます。

■高い耐久性逆流冷却機構を持った多段ルーツ式であるため耐久性に優れています。

■クリーンバキュームオイルの逆拡散やポンプ内部での発塵が在りません。

■低騒音･低振動ロータは厳密にバランスが取られ、排気サイレンサが標準装備されています。

■少ない放熱水冷式であるため周囲への放熱が少ない構造です。

■リークタイト構造キャンドモータ採用によりリークレートはE10-6Pa・m3/sec以下です。

■長いメンテナンス周期接ガス部には摺動部が無いため長期の連続運転が可能です。

■用途・真空蒸着装置、スパッタリング装置
・ロードロック
・プラズマクリーニング装置
・シリコン単結晶引上げ装置
・電子ビーム加工機
・ガス循環・回収装置
・ガス置換
・真空成形装置
・真空吸着搬送
・真空包装機
・真空脱気・脱泡
・真空冷却
・分析装置、理化学実験装置
・クライオポンプの粗引・再生
・各種粗引き用、TMPのバックポンプ
・その他クリーンな真空装置

■安全性の注意この真空ポンプは、クリーンな真空排気用途にご使用ください。腐食性ガス、有毒ガス、爆発・発火性のガス、溶剤等を含むガスの排気を行なわないでください。

■オプションとしと下記のような付属品も供給可能です。・ポンプケース
・操作盤
・N2パージ
・吐出サイレンサ
・冷却水用フロースイッチ

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ドライ真空ポンプクリーンプロセス用大排気速度ドライポンプ TSシリーズ

取扱企業
株式会社宇野澤組鐵工所

カテゴリ

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ドライ真空ポンプクリーンプロセス用大排気速度ドライポンプ TSシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	基本構造	基本構造ドライ真空ポンプ	製品仕様最大排気速度 m3･h-1	製品仕様到達圧力 Pa	製品仕様最大背圧 kPa	製品仕様周囲温度範囲 ℃	製品仕様吸込口径	製品仕様吐出口径	製品仕様潤滑油量 lit.	冷却水流量 L･m-1	冷却水最大入口温度 ℃	冷却水入口/出口口径 Rc	モーター定格 (ドライ真空ポンプ) kW	電源 Hz	電源 V
	TS100	要見積もり	ドライ真空ポンプ	TS100	50Hz:96 60Hz:114	50Hz:10 60Hz:6	110	5~40	NW50	NW40	1	＞4	30	3/8	3.7	50Hz 60Hz	200-240 50Hz:380-415 60Hz:440-480

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株式会社宇野澤組鐵工所

会社概要

株式会社宇野澤組鐵工所は、ロータリブロワやドライ真空・水封式真空ポンプの製造販売を主な事業内容とする企業です。同社開発の多段ルーツ式ドライ真空ポンプは世界初の製品でクリーンバキューム、省電力を特徴とする製品で化学・医...

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本社所在地: 東京都

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