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ドライ真空ポンプ クリーンプロセス用 大排気速度ドライポンプ TSシリーズ-TS100
ドライ真空ポンプ クリーンプロセス用 大排気速度ドライポンプ TSシリーズ-株式会社宇野澤組鐵工所

ドライ真空ポンプ クリーンプロセス用 大排気速度ドライポンプ TSシリーズ
株式会社宇野澤組鐵工所



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この製品について

消費電力が少なく耐久性に優れた「クリーンプロセス用ECOドライ真空ポンプ」です。オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。

■少ない消費電力

多段ルーツ式であるため消費電力を大幅に削減することが出来ます。

■高い耐久性

逆流冷却機構を持った多段ルーツ式であるため耐久性に優れています。

■クリーンバキューム

オイルの逆拡散やポンプ内部での発塵が在りません。

■低騒音・低振動

ロータは厳密にバランスが取られ、排気サイレンサが標準装備されています。

■少ない放熱

水冷式であるため周囲への放熱が少ない構造です。

■リークタイト構造

キャンドモータ採用によりリークレートはE10-6Pa・m3/sec以下です。

■長いメンテナンス周期

接ガス部には摺動部が無いため長期の連続運転が可能です。

■用途

・真空蒸着装置、スパッタリング装置 ・ロードロック ・プラズマクリーニング装置 ・シリコン単結晶引上げ装置 ・電子ビーム加工機 ・ガス循環・回収装置 ・ガス置換 ・真空成形装置 ・真空吸着搬送 ・真空包装機 ・真空脱気・脱泡 ・真空冷却 ・分析装置、理化学実験装置 ・クライオポンプの粗引・再生 ・各種粗引き用、TMPのバックポンプ ・その他クリーンな真空装置

■安全性の注意

この真空ポンプは、クリーンな真空排気用途にご使用ください。腐食性ガス、有毒ガス、爆発・発火性のガス、溶剤等を含むガスの排気を行なわないでください。

■オプションとしと下記のような付属品も供給可能です。

・ポンプケース ・操作盤 ・N2パージ ・吐出サイレンサ ・冷却水用フロースイッチ

  • シリーズ

    ドライ真空ポンプ クリーンプロセス用 大排気速度ドライポンプ TSシリーズ

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ドライ真空ポンプ クリーンプロセス用 大排気速度ドライポンプ TSシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基本構造 基本構造 ドライ真空ポンプ 製品仕様 最大排気速度 m3・h-1 製品仕様 到達圧力 Pa 製品仕様 最大背圧 kPa 製品仕様 周囲温度範囲 ℃ 製品仕様 吸込口径 製品仕様 吐出口径 製品仕様 潤滑油量 lit. 冷却水 流量 L・m-1 冷却水 最大入口温度 ℃ 冷却水 入口/出口 口径 Rc モーター定格 (ドライ真空ポンプ) kW 電源 Hz 電源 V
ドライ真空ポンプ クリーンプロセス用 大排気速度ドライポンプ TSシリーズ-品番-TS100

TS100

要見積もり ドライ真空ポンプ TS100 50Hz:96
60Hz:114
50Hz:10
60Hz:6
110 5~40 NW50 NW40 1 >4 30 3/8 3.7 50Hz
60Hz
200-240
50Hz:380-415
60Hz:440-480

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社宇野澤組鐵工所は、ロータリブロワやドライ真空・水封式真空ポンプの製造販売を主な事業内容とする企業です。 同社開発の多段ルーツ式ドライ真空ポンプは世界初の製品でクリーンバキューム、省電力を特徴とする製品で化学・医...

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  • 本社所在地: 東京都
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