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半導体製造装置 MERCURY-MERCURY
半導体製造装置 MERCURY-株式会社セルバック

半導体製造装置 MERCURY
株式会社セルバック



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この製品について

PEGASUS 1500は、G4.5又はφ6インチ (25枚) 基板の搭載が可能な大型バッチ処理装置です。数10μmの厚膜処理は、枚葉式では効率が良くないですが、本装置は一度に大量に処理できるため処理時間が少なく済みます。ICPの高密度プラズマを採用し低温で処理が出来る為、熱による時間ロスや電力消費が少なく済みます。

  • シリーズ

    半導体製造装置 MERCURY

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半導体製造装置 MERCURY 品番1件

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