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半導体製造装置 PEGASUS RTA-PEGASUS RTA
半導体製造装置 PEGASUS RTA-株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS RTA
株式会社セルバック

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この製品について

EGASUS RTAは、φ300mmSiに対応した基板回転タイプのアニール装置です。高純度石英チューブの赤外線ランプヒーターは、透過率が高くクリーン加熱に適し、リフレクターの設計と反射膜で照射効率に優れたヒータ－ユニットです。

  • シリーズ

    半導体製造装置 PEGASUS RTA

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半導体製造装置 PEGASUS RTA 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
半導体製造装置 PEGASUS RTA-品番-PEGASUS RTA

PEGASUS RTA

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ウェハーサイズ mm

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チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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  • 本社所在地: 京都府

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