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半導体製造装置 PEGASUS RTA-PEGASUS RTA
半導体製造装置 PEGASUS RTA-株式会社セルバック

半導体製造装置 PEGASUS RTA
株式会社セルバック



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この製品について

EGASUS RTAは、φ300mmSiに対応した基板回転タイプのアニール装置です。高純度石英チューブの赤外線ランプヒーターは、透過率が高くクリーン加熱に適し、リフレクターの設計と反射膜で照射効率に優れたヒータ-ユニットです。

  • シリーズ

    半導体製造装置 PEGASUS RTA

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半導体製造装置 PEGASUS RTA 品番1件

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