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コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ-DSP251
コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ-DSP501
コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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この製品について

■DSP251

・ポータブルタイプ ・小型・軽量・外乱に強い。タイミングギアレス構造により、軽量化を実現。 ・ユーティリティーの利便性向上 ・ガスバラスト機構を標準搭載。空冷タイプのため冷却水の準備が不要。 ・オイルフリー ・タイミングギヤレス構造により、潤滑油を使用しない設計を実現。 ・低騒音 ・タイミングギアレス構造により機械音がない。外装カバーに防音機能を装備。 ・低振動 ・スクリュー形ロータの採用により、排気脈動が発生しない。 ・省エネルギー ・競合他社と比較して、低消費電力を実現。 ・クリーン排気 ・油回転真空ポンプのように油蒸気やパーティクルの逆流がない為、非常にクリーンな排気を実現。 ・高速ポンプダウン ・大気圧付近で大排気速度を実現。 ・安全規格CE適合

■用途

・SEM、リソグラフィ ・医療装置 ・ロードロック/搬送室排気 ・分析機器 ・加速器、イオン源、電子銃排気 ・一般産業 ・PVD ・R&D

  • シリーズ

    コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ

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コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 到達圧力 ガスバラスト無 Pa 圧力 ガスバラスト有 Pa 接続形式 排気 電源 相数 電源 接続 排気速度 ガスバラスト有 L/min
コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ-品番-DSP251

DSP251

要見積もり

230

200

0.5

2

KF25

KF25

16

単相

C100-230^±10%

450

平川ヒューテック製CM11

240

380

-
コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ-品番-DSP501

DSP501

要見積もり

500

-

0.5

2

KF40

KF25

21

単相

AC100-230±10%

660

平川ヒューテック製CM11

270

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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