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半導体製造装置 ピッチ変換 Face to Face移載 ウェハ搬送移載装置-ウェハ搬送移載装置
半導体製造装置 ピッチ変換 Face to Face移載 ウェハ搬送移載装置-株式会社渡辺商行

半導体製造装置 ピッチ変換 Face to Face移載 ウェハ搬送移載装置
株式会社渡辺商行

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この製品について

カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF (BtoB) 等の機能を付加可能

■基本情報

ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英 (SiC) ボート等へ自動移載する装置です。2カセット同時やピッチ変換・FtoF (BtoB) 等の機能を付加可能です。 ・オープンカセット←→オープンカセット移載 ・オープンカセット←→石英 (SiC) ボート移載 ・2カセット同時移載 ・ピッチ変換移載 ・Face to Face (Back to Back) 移載 ・長尺ボートへの枚葉式移載

■特徴

・4インチ~8インチウェハ用移載機 ・CR内でのウェハの自動移載が可能 ・2カセット同時やピッチ変換・Face to Face (Back to Back) 等の機能を付加可能

■用途

拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載

  • シリーズ

    半導体製造装置 ピッチ変換 Face to Face移載 ウェハ搬送移載装置

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半導体製造装置 ピッチ変換 Face to Face移載 ウェハ搬送移載装置 品番1件

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半導体製造装置 ピッチ変換 Face to Face移載 ウェハ搬送移載装置-品番-ウェハ搬送移載装置

ウェハ搬送移載装置

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都
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