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メカニクス 高精度薄型ピエゾステージ 3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3-BIO3/LT3.100
メカニクス 高精度薄型ピエゾステージ 3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3-株式会社東京インスツルメンツ

メカニクス 高精度薄型ピエゾステージ 3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3
株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■製品概要

PIEZOCONCEPTの薄型3軸ピエゾステージは、あらゆる倒立型顕微鏡との組み合わせを考慮して設計されております。BIO3は開口部が広く、顕微鏡用のスライドガラスを開口部内に設置可能です。粗動用のマイクロステージ (ステージストローク:25mm x 25mm) と組み合わせたハイブリッドステージのラインナップもございます。 各ステージに対応した多数のアクセサリーも取り揃えております。標準仕様品のステージ本体はアルミニウム製ですが、100µmモデルには温度変化に対しより安定なインバー製のラインナップもございます。

■特長

・薄型 ・あらゆる顕微鏡との組み合わせ可能 ・ハイブリッドステージ ・豊富なアクセサリー ・100µmモデル:インバー製をラインナップ ・BIO3:開口部内へスライドガラス設置可能 ・ノイズレベル30pm以下

■用途

・超解像顕微鏡 ・ナノリソグラフィー ・粒子トラッキング ・共焦点顕微鏡 ・原子間力顕微鏡 (AFM)

  • シリーズ

    メカニクス 高精度薄型ピエゾステージ 3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3

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メカニクス 高精度薄型ピエゾステージ 3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) XYZストローク XYZ分解能 XYZノイズレベル XYZ位置再現性 リニアリティ (典型値) 共振周波数 X, Y, Z 剛性 X, Y, Z 耐荷重-横向き使用時 耐荷重-縦向き使用時 センサー BIO3サイズ W×L×H LT3サイズ W×L×H 本体素材 ケーブル長 適応コントローラー
メカニクス 高精度薄型ピエゾステージ 3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3-品番-BIO3/LT3.100

BIO3/LT3.100

要見積もり

100μm

0.1nm

0.01nm

0.2nm

0.02%

500Hz, 400Hz, 400Hz

0.6N/μm, 0.5N/μm, 0.5N/μm

1kg

0.5kg

Silicon HR sensor

152.5×213×20.45mm

152.5×193×20.70mm

AlまたはInvar

2m

Standard

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 東京都
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