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シリーズ
メカニクス 高精度薄型ピエゾステージ 3軸ピエゾステージシリーズ/BIO3/LT3取扱企業
株式会社東京インスツルメンツカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | XYZストローク | XYZ分解能 | XYZノイズレベル | XYZ位置再現性 | リニアリティ (典型値) | 共振周波数 X, Y, Z | 剛性 X, Y, Z | 耐荷重-横向き使用時 | 耐荷重-縦向き使用時 | センサー | BIO3サイズ W×L×H | LT3サイズ W×L×H | 本体素材 | ケーブル長 | 適応コントローラー |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
BIO3/LT3.100 |
要見積もり |
100μm |
0.1nm |
0.01nm |
0.2nm |
0.02% |
500Hz, 400Hz, 400Hz |
0.6N/μm, 0.5N/μm, 0.5N/μm |
1kg |
0.5kg |
Silicon HR sensor |
152.5×213×20.45mm |
152.5×193×20.70mm |
AlまたはInvar |
2m |
Standard |
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