フォトリソ用小型現像装置
アームスシステム株式会社

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この製品について

スイングノズル式のスプレー現像・パドル現像対応装置など取り揃えております。

■概要スイングノズル式のスプレー現像・パドル現像対応装置

■特徴・高性能・低価格・コンパクト卓上タイプ
・ワークサイズφ1"～φ6"
・液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作
・薬液圧送ポンプ2系統を内蔵

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商品画像	品番	価格 (税抜)	処理枚数	プロセス	使用薬液	処理時間設定	基板回転数	スイングノズル移動量	寸法・重量	電源	真空	局所排気
	DV-200	要見積もり	150φ又は100Sq基板 (最大) :1枚、1インチφ~6インチφ:1枚	現像液:1系統、リンス:1系統 (マイクロポンプによる脈動のない圧送ができます)	アルカリ系現像液、アルコール系溶剤	最小:1秒	0~3000rpm 任意設定	プログラムによる振角任意設定センタ固定もできます	本体部:550W×400D×440H (mm) (カバー開閉時740Hmm) 、約33Kg	AC100V 4A	350mmHg以下	0.3m3/分