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シリーズ
立体物に成膜可能 立体物対応実験用プラズマCVD装置取扱企業
株式会社DINOVAC商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 供給ガス圧力 | 到達真空度 | ガス導入系 | 接地 | 制御 / 操作 | 真空チャンバー 材質 | 真空ポンプ | ランプ加熱 | 高周波出力 | 電気容量 | 整合方式 | 排気圧コントロール |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
立体物対応実験用プラズマCVD装置 |
要見積もり |
0.1MPa~0.2MPa |
1Pa以下 |
Ar、O2、CVD用ガス |
A種アース |
PLC制御 / PC操作 |
ステンレス製 |
ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ |
最高設定温度500℃ |
最大1kW |
三相AC200V 50A |
自動整合方式 |
手動 (オプションで自動可) |
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