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フォトマスク欠陥修正装置 FIB欠陥修正装置 Draco-株式会社エイチ・ティー・エル

この製品について

AM-OLED用高精度大型フォトマスク・ハーフトーンマスク対応の最新モデル

■特長

・部分真空システムによる装置設置面積の縮小化を実現 ・部分真空システムによるローディング時間の短縮を実現 ・FIBによる高精度膜厚制御 ・OPCなど、微小かつ複雑パターンの完全パターンコピーに対応

  • 型番

    Draco

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フォトマスク欠陥修正装置 FIB欠陥修正装置 Draco Dracoの性能表

商品画像 価格 (税抜) 対応サイズ
フォトマスク欠陥修正装置 FIB欠陥修正装置 Draco-品番-Draco 要見積もり ≤ G10 (カスタマイズ可)

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半導体製造装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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  • 本社所在地: 東京都

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