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搬送タイプ
自動搬送
外観寸法 (mm) W×D×H
1,480 x 1,220 x 1,810
用力 (V) 電源
AC200
用力 (kPa) 真空
-70、-40
用力 (MPa) 圧空
0.3
対応ウエハ
シリコン、SiC、GaN
ウエハサイズ (インチ)
2~8
型番
YPI-MX-DC取扱企業
株式会社YGKカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 搬送タイプ | 外観寸法 (mm) W×D×H | 用力 (V) 電源 | 用力 (kPa) 真空 | 用力 (MPa) 圧空 | 対応ウエハ | ウエハサイズ (インチ) |
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要見積もり | 自動搬送 | 1,480 x 1,220 x 1,810 | AC200 | -70、-40 | 0.3 | シリコン、SiC、GaN | 2~8 |
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