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透明ウエハ表面パーティクルスキャナ YPI-MX (セミオート)-株式会社YGK

全型番で同じ値の指標

搬送タイプ

マニュアル搬送 (セミオート)

外観寸法 (mm) W×D×H

1,000 x 1,000 x 1,810

用力 (V) 電源

AC200

用力 (kPa) 真空

-70 ウエハ吸着、-40 排気

対応ウエハ

シリコン、透明ウエハ (ガラス、LT/LN、石英、サファイア等)

ウエハサイズ (インチ)

2~8 測定ホルダの段取替えが必要です。

この製品について

透明・不透明ウエハ両方測定。豊富なオプションで高感度測定に対応可能です。

  • 型番

    YPI-MX

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透明ウエハ表面パーティクルスキャナ YPI-MX (セミオート) YPI-MXの性能表

商品画像 価格 (税抜) 搬送タイプ 外観寸法 (mm) W×D×H 用力 (V) 電源 用力 (kPa) 真空 対応ウエハ ウエハサイズ (インチ)
透明ウエハ表面パーティクルスキャナ YPI-MX (セミオート)-品番-YPI-MX 要見積もり マニュアル搬送 (セミオート) 1,000 x 1,000 x 1,810 AC200 -70 ウエハ吸着、-40 排気 シリコン、透明ウエハ (ガラス、LT/LN、石英、サファイア等) 2~8 測定ホルダの段取替えが必要です。

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使用用途

#パッケージ検査 #ウエハ検査 #マスク検査 #回路パターン検査 #表面欠陥検査 #接合部検査 #絶縁特性評価 #信頼性評価 #材料評価 #電気特性測定 #故障解析 #オンライン検査

処理能力 秒/個

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 3

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 30 30 - 50

供給方式

トレー スティック パーツフィーダ コンベア マガジンローダ ダイシングフレームカセット ウエハリング テープフィーダ

コンタクト

テストヘッド対応 ケルビンコンタクト ソケット ソケットボード プローブピン

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