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搬送タイプ
自動搬送
外観寸法 (mm) W×D×H
2,330 x 1,400 x 1,820 1FOUP、2,520 x 1,807 x 2,007 Dual FOUP
用力 (V) 電源
AC200
用力 (kPa) 真空
-70 ウエハ吸着、-60 FOUP用、-40 排気
用力 (MPa) 圧空
0.6 FOUP用
対応ウエハ
テープフレーム付ウエハ
ウエハサイズ (インチ)
テープフレーム付12ウエハ
型番
YPI-MX TF FOUP取扱企業
株式会社YGKカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 搬送タイプ | 外観寸法 (mm) W×D×H | 用力 (V) 電源 | 用力 (kPa) 真空 | 用力 (MPa) 圧空 | 対応ウエハ | ウエハサイズ (インチ) |
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要見積もり | 自動搬送 | 2,330 x 1,400 x 1,820 1FOUP、2,520 x 1,807 x 2,007 Dual FOUP | AC200 | -70 ウエハ吸着、-60 FOUP用、-40 排気 | 0.6 FOUP用 | テープフレーム付ウエハ | テープフレーム付12ウエハ |
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