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ダイシング (テープフレーム) ウエハ表面 パーティクルスキャナ YPI-MX TF-株式会社YGK

全型番で同じ値の指標

搬送タイプ

マニュアル搬送タイプ (セミオート)

外観寸法 (mm) W×D×H

1,220 x 1,220 x 1,810

用力 (V) 電源

AC200

用力 (kPa) 真空

-70、-40

対応ウエハ

シリコンウエハ及びテープフレーム付ウエハ

ウエハサイズ (インチ)

通常ウエハ 3~12インチ、テープフレーム付ウエハ 6~12インチ、測定ホルダの段取替えが必要です。

この製品について

ダイシング (テープフレーム) ウエハの高感度異物測定。後工程の研究開発機として最適です。

  • 型番

    YPI-MX TF

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ダイシング (テープフレーム) ウエハ表面 パーティクルスキャナ YPI-MX TF YPI-MX TFの性能表

商品画像 価格 (税抜) 搬送タイプ 外観寸法 (mm) W×D×H 用力 (V) 電源 用力 (kPa) 真空 対応ウエハ ウエハサイズ (インチ)
ダイシング (テープフレーム) ウエハ表面 パーティクルスキャナ YPI-MX TF-品番-YPI-MX TF 要見積もり マニュアル搬送タイプ (セミオート) 1,220 x 1,220 x 1,810 AC200 -70、-40 シリコンウエハ及びテープフレーム付ウエハ 通常ウエハ 3~12インチ、テープフレーム付ウエハ 6~12インチ、測定ホルダの段取替えが必要です。

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使用用途

#パッケージ検査 #ウエハ検査 #マスク検査 #回路パターン検査 #表面欠陥検査 #接合部検査 #絶縁特性評価 #信頼性評価 #材料評価 #電気特性測定 #故障解析 #オンライン検査

処理能力 秒/個

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 3

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 30 30 - 50

供給方式

トレー スティック パーツフィーダ コンベア マガジンローダ ダイシングフレームカセット ウエハリング テープフィーダ

コンタクト

テストヘッド対応 ケルビンコンタクト ソケット ソケットボード プローブピン

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