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ストローク
・クローズ時 200μm ・オープン時 260μm
分解能
20nm
繰り返し位置決め精度
±20nm
耐荷重
5N
共振周波数
・0g負荷時 470Hz ・100g負荷時 280Hz
ピッチング ヨーイング ローリング
2"/3"/2"
内蔵変位センサ
歪みゲージ式変位センサ
リニアリティ
±0.2%
圧電素子静電容量
6.8μF
剛性
2.0μm/N
本体
・質量 250g ・材質 アルミ+銅 ・表面処理 黒アルマイト+レイデント
型番
PS1L60-200U-S取扱企業
THKプレシジョン株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品154点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ストローク | 分解能 | 繰り返し位置決め精度 | 耐荷重 | 共振周波数 | ピッチング ヨーイング ローリング | 内蔵変位センサ | リニアリティ | 圧電素子静電容量 | 剛性 | 本体 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり |
・クローズ時 200μm ・オープン時 260μm |
20nm | ±20nm | 5N |
・0g負荷時 470Hz ・100g負荷時 280Hz |
2"/3"/2" | 歪みゲージ式変位センサ | ±0.2% | 6.8μF | 2.0μm/N |
・質量 250g ・材質 アルミ+銅 ・表面処理 黒アルマイト+レイデント |
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使用用途が精密位置決めの製品
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
