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返答率
100.0%
返答時間
73.9時間
吸気口
VG150/ISO160F
排気口
KF40
到達圧力
10^-7 Pa
排気速度 (N2)
1,030 L/s
排気速度 (Ar)
980 L/s
排気速度 (H2)
660 L/s
圧縮比 (N2)
2×10 8
圧縮比 (He)
7×10^3
圧縮比 (H2)
8×10^2
最大吸気口圧力
26 Pa
最大排気口圧力
266 Pa
回転数
37,200 min-1
回転数可変機能
ポンプの規定回転数の25% ~100%の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1%単位)
起動時間
8分以内
取付方向
全方位取付可能
表面処理
無し
外部制御 (リモートインターフェイス)
D-sub25ピンメス 接点入出力
外部制御 (シリアルインターフェイス)
専用丸型コネクタ RS232C/RS485
コントローラ 構成
ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)
コントローラ 電源
単相AC200~240V±10% (50/60Hz ±2Hz)
コントローラ 最大所要動力
0.75kVA
冷却方式
水冷
冷却水 (流量)
3~4 L/min
冷却水 (水圧)
0.2 ~ 0.4 MPaG
騒音
57 dB (A)
質量
43 kg
推奨補助ポンプ
600L/min以上
適合規格
CE、TUVus
選択仕様 ACケーブル
ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)
型番
UTM1200Aシリーズ
ターボ分子ポンプ UTM-MI取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 吸気口 | 排気口 | 到達圧力 | 排気速度 (N2) | 排気速度 (Ar) | 排気速度 (H2) | 圧縮比 (N2) | 圧縮比 (He) | 圧縮比 (H2) | 最大吸気口圧力 | 最大排気口圧力 | 回転数 | 回転数可変機能 | 起動時間 | 取付方向 | 表面処理 | 外部制御 (リモートインターフェイス) | 外部制御 (シリアルインターフェイス) | コントローラ 構成 | コントローラ 電源 | コントローラ 最大所要動力 | 冷却方式 | 冷却水 (流量) | 冷却水 (水圧) | 騒音 | 質量 | 推奨補助ポンプ | 適合規格 | 選択仕様 ACケーブル | 標準付属品 |
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要見積もり | VG150/ISO160F | KF40 | 10^-7 Pa | 1,030 L/s | 980 L/s | 660 L/s | 2×10 8 | 7×10^3 | 8×10^2 | 26 Pa | 266 Pa | 37,200 min-1 | ポンプの規定回転数の25% ~100%の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1%単位) | 8分以内 | 全方位取付可能 | 無し | D-sub25ピンメス 接点入出力 | 専用丸型コネクタ RS232C/RS485 | ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) | 単相AC200~240V±10% (50/60Hz ±2Hz) | 0.75kVA | 水冷 | 3~4 L/min | 0.2 ~ 0.4 MPaG | 57 dB (A) | 43 kg | 600L/min以上 | CE、TUVus | ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) |
吸気口用Oリング (VGのみ) 、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) |
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