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返答率
100.0%
返答時間
80.2時間
動作方向
X、Y
駆動制御
2軸
移動範囲 (0～120V) (μm±10%)
80/シャフト
移動範囲 (0～150V) (μm±10%)
100/シャフト
センサータイプ
SGS
スルーホールサイズ (mm)
66x66
クローズド/オープンループ分解能 (nm)
3.5/1
閉ループ直線性 (%F.S.)
0.15
クローズドループの繰り返し位置決め精度
0.1%F.S.
ピッチ/ヨー/ロール (μrad)
<30
プッシュ/プル (N)
60/10
運動方向剛性 (N/μm±20%)
0.6
無負荷時共振周波数 (Hz±20%)
200
負荷による共振周波数 (Hz±20%)
45 (＠6kg)
キャリングキャパシティ (kg)
前方6/後方6/水平0.5
静電容量 (μF±20%)
10.8/軸
素材
スチール、アルミニウム
重量 (g±5%)
<1.1
型番
P15.XY100S-C1取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品154点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 動作方向 | 駆動制御 | 移動範囲 (0～120V) (μm±10%) | 移動範囲 (0～150V) (μm±10%) | センサータイプ | スルーホールサイズ (mm) | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループの繰り返し位置決め精度 | ピッチ/ヨー/ロール (μrad) | プッシュ/プル (N) | 運動方向剛性 (N/μm±20%) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 負荷による共振周波数 (Hz±20%) | キャリングキャパシティ (kg) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | 重量 (g±5%) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | X、Y | 2軸 | 80/シャフト | 100/シャフト | SGS | 66x66 | 3.5/1 | 0.15 | 0.1%F.S. | <30 | 60/10 | 0.6 | 200 | 45 (＠6kg) | 前方6/後方6/水平0.5 | 10.8/軸 | スチール、アルミニウム | <1.1 |
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使用用途が精密位置決めの製品
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
