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移動方向
X、Y、Z
移動範囲 (0~120V) (μm±10%)
X200/Y200/Z80
移動範囲 (0~150V) (μm±10%)
X250/Y250/Z100
センサータイプ
SGS
クローズド/オープンループ分解能 (nm)
XY7/Z3
閉ループ直線性 (%F.S.)
X0.1/Y0.1/Z0.2
クローズドループの繰り返し位置決め精度
X0.05/Y0.05/Z0.1%F.S.
無負荷時共振周波数 (Hz±20%)
X240/Y240/Z150
キャリングキャパシティ (g±5%)
500
静電容量コンデンサー (μF±20%)
X7.2/Y7.2/Z1.8
素材
スチール、アルミニウム
型番
P12A.XY200Z100S取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品137点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 移動方向 | 移動範囲 (0~120V) (μm±10%) | 移動範囲 (0~150V) (μm±10%) | センサータイプ | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | キャリングキャパシティ (g±5%) | 静電容量コンデンサー (μF±20%) | 素材 |
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要見積もり | X、Y、Z | X200/Y200/Z80 | X250/Y250/Z100 | SGS | XY7/Z3 | X0.1/Y0.1/Z0.2 | X0.05/Y0.05/Z0.1%F.S. | X240/Y240/Z150 | 500 | X7.2/Y7.2/Z1.8 | スチール、アルミニウム |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000ピエゾステージの中でこの商品と同じ値をもつ製品
移動方向 が X、Y、Z の ピエゾステージ