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返答率
100.0%
返答時間
143.7時間
移動方向
X、Y、Z
XY移動範囲 (0~150V)
500μm/軸 ±10%
Z移動範囲 (0~150V)
800μm±10%
センサータイプ
SGS
キャリングキャパシティ
250g
XY静電容量
28.8μF/軸±20%
Z静電容量
43.2μF±20%
XY軸分解能
14nm
Z軸分解能
22nm
重量
1,000 (ワイヤーなし) g±5%
型番
P12.XY500Z800S取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品137点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 移動方向 | XY移動範囲 (0~150V) | Z移動範囲 (0~150V) | センサータイプ | キャリングキャパシティ | XY静電容量 | Z静電容量 | XY軸分解能 | Z軸分解能 | 重量 |
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要見積もり | X、Y、Z | 500μm/軸 ±10% | 800μm±10% | SGS | 250g | 28.8μF/軸±20% | 43.2μF±20% | 14nm | 22nm | 1,000 (ワイヤーなし) g±5% |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000ピエゾステージの中でこの商品と同じ値をもつ製品
移動方向 が X、Y、Z の ピエゾステージ