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返答率
100.0%
返答時間
143.7時間
動作方向
X、Y、Z
移動範囲 (0~150V) (μm±20%)
100/シャフト
センサー
SGS
分解能 (nm)
3
貫通穴 (mm)
φ10
無負荷時共振周波数 (kHz±20%)
0.03
静電容量 (μF±10%)
3.6/シャフト
キャリングキャパシティ (g±5%)
244
テーブル素材
スチール、アルミニウム
型番
P12B.XYZ100S取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 動作方向 | 移動範囲 (0~150V) (μm±20%) | センサー | 分解能 (nm) | 貫通穴 (mm) | 無負荷時共振周波数 (kHz±20%) | 静電容量 (μF±10%) | キャリングキャパシティ (g±5%) | テーブル素材 |
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要見積もり | X、Y、Z | 100/シャフト | SGS | 3 | φ10 | 0.03 | 3.6/シャフト | 244 | スチール、アルミニウム |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000