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返答率
100.0%
返答時間
143.7時間
移動方向
X、Y、Z
駆動制御
3軸
移動範囲 (0~120V) (μm±10%)
248/軸
移動範囲 (0~150V) (μm±10%)
310/アクセル
センサータイプ
SGS
貫通穴サイズ (mm)
66×66
外形寸法図 (mm)
150×150×35
クローズド/オープンループ分解能 (nm)
10
閉ループ直線性 (%F.S.)
0.2
クローズドループの繰り返し位置決め精度
0.15%F.S.
ピッチ/ヨー/ロール (μrad)
<100
移動方向剛性 (N/μm±20%)
1
プッシュ/プル (N)
200/10
無負荷時共振周波数 (Hz±20%)
180/200/200
負荷による共振周波数 (Hz±20%)
49/49/69 (@5kg)
キャリングキャパシティ (kg)
5
静電容量 (μF±20%)
21.6/21.6/43
テーブル素材
スチール、アルミニウム
型番
P15.XYZ300S-C2取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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返答率96%
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商品画像 | 価格 (税抜) | 移動方向 | 駆動制御 | 移動範囲 (0~120V) (μm±10%) | 移動範囲 (0~150V) (μm±10%) | センサータイプ | 貫通穴サイズ (mm) | 外形寸法図 (mm) | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループの繰り返し位置決め精度 | ピッチ/ヨー/ロール (μrad) | 移動方向剛性 (N/μm±20%) | プッシュ/プル (N) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 負荷による共振周波数 (Hz±20%) | キャリングキャパシティ (kg) | 静電容量 (μF±20%) | テーブル素材 |
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要見積もり | X、Y、Z | 3軸 | 248/軸 | 310/アクセル | SGS | 66×66 | 150×150×35 | 10 | 0.2 | 0.15%F.S. | <100 | 1 | 200/10 | 180/200/200 | 49/49/69 (@5kg) | 5 | 21.6/21.6/43 | スチール、アルミニウム |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000