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返答率
100.0%
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移動方向
X、Y、Z
移動範囲 (0~150V) (μm±10%)
XY200、Z100
低温移動範囲 (0~150V) (μm±10%)
XY80、Z50
分解能 (nm)
66 x 66
無負荷時共振周波数 (Hz±20%)
150×150×35
荷重200g時共振周波数 (Hz±20%)
8
静電容量 (μF±20%)
0.2
素材
0.15
キャリングキャパシティ (g)
<150
重量 (g±5%)
1
型番
XD106.XYZ200K取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品137点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 移動方向 | 移動範囲 (0~150V) (μm±10%) | 低温移動範囲 (0~150V) (μm±10%) | 分解能 (nm) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 荷重200g時共振周波数 (Hz±20%) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | キャリングキャパシティ (g) | 重量 (g±5%) |
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![]() |
要見積もり | X、Y、Z | XY200、Z100 | XY80、Z50 | 66 x 66 | 150×150×35 | 8 | 0.2 | 0.15 | <150 | 1 |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000ピエゾステージの中でこの商品と同じ値をもつ製品
移動方向 が X、Y、Z の ピエゾステージ