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極低温真空非磁性ピエゾ位置決めステージ XD106シリーズ XD106.XYZ200K-ワイヤード株式会社

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移動方向

X、Y、Z

移動範囲 (0~150V) (μm±10%)

XY200、Z100

低温移動範囲 (0~150V) (μm±10%)

XY80、Z50

分解能 (nm)

66 x 66

無負荷時共振周波数 (Hz±20%)

150×150×35

荷重200g時共振周波数 (Hz±20%)

8

静電容量 (μF±20%)

0.2

素材

0.15

キャリングキャパシティ (g)

<150

重量 (g±5%)

1

この製品について

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、貫通穴のある直線ピエゾ位置決めプラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます。ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは高い信頼性と高い分解能を持ち、非常に優れた移動直線性と平面性、およびより高い機械的強度を備えています。主に顕微鏡ステッピング移動などで使用され、光学システムの解像度を向上させるための高速なステップおよび安定した移動を実現します。これには、カメライメージングプロセス技術や生物認識技術など、光学系におけるアプリケーションが含まれます。また、特徴的な点として、中央に大きな貫通穴があるということが挙げられます。これにより、より良い光学パス条件を光学系に提供することができます。 ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、透光精密光学デバイスの位置合わせと調整に主に使用され、顕微鏡や分析機器と組み合わせて位置合わせや測定に使用されます。これには、走査プローブ顕微鏡 (例 原子間力顕微鏡) 、ナノポジショニング、計測、生物学研究、マイクロエレクトロニクス、マイクロ操作、精密制御などの応用があります。

■製品の特徴

・真空極低温非磁性 ・XYZ軸制御 ・貫通穴Φ 50mm ・オープンループ制御コントロール

  • 型番

    XD106.XYZ200K

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極低温真空非磁性ピエゾ位置決めステージ XD106シリーズ XD106.XYZ200K XD106.XYZ200Kの性能表

商品画像 価格 (税抜) 移動方向 移動範囲 (0~150V) (μm±10%) 低温移動範囲 (0~150V) (μm±10%) 分解能 (nm) 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) 荷重200g時共振周波数 (Hz±20%) 静電容量 (μF±20%) 素材 キャリングキャパシティ (g) 重量 (g±5%)
極低温真空非磁性ピエゾ位置決めステージ XD106シリーズ XD106.XYZ200K-品番-XD106.XYZ200K 要見積もり X、Y、Z XY200、Z100 XY80、Z50 66 x 66 150×150×35 8 0.2 0.15 <150 1

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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143.7時間

会社概要

ワイヤード株式会社は、オーダーメイドのシステム装置・位置決め装置を設計・開発・製造するメーカーです。 1999年に創立し、長年の位置決め装置開発のノウハウにより、ニーズに応じたカスタム検査装置、光学システム製品、光学設...

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  • 本社所在地: 東京都

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