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動作方向
X、Y、Z
駆動制御
3軸制御
移動範囲 (0～120V) (μm±20%)
XY80/Z64
移動範囲 (0～150V) (μm±20%)
XY100/Z80
センサータイプ
SGS
貫通穴サイズ (mm)
50×50
外形寸法 (mm)
94×94×24.5
クローズド/オープンループ分解能 (nm)
3
閉ループ直線性 (%F.S.)
XY0.2/Z0.1
クローズドループの繰り返し位置決め精度
XY0.02/Z0.02%F.S.
ピッチ/ヨー/ロール (μrad)
≦30
無負荷時共振周波数 (Hz±20%)
XY220/Z160
荷重 (400g) に対する共振周波数 (Hz±20%)
XY110/Z80
キャリングキャパシティ (kg±5)
0.4
静電容量 (μF±20%)
XY3.6/Z1.8
素材
スチール、アルミニウム
重量 (g±5%)
420
型番
XD107.XY100Z20S取扱企業
ワイヤード株式会社レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
3.5
2025年10月14日にレビュー
弊方からの問い合わせに対し、迅速かつ丁寧に対応頂きました。
初回返答までの時間・3.00時間2025年8月6日にレビュー
連絡は早かったものの、見積がもたえず時間を食ってしまった。
初回返答までの時間・96.16時間| 商品画像 | 価格 (税抜) | 動作方向 | 駆動制御 | 移動範囲 (0～120V) (μm±20%) | 移動範囲 (0～150V) (μm±20%) | センサータイプ | 貫通穴サイズ (mm) | 外形寸法 (mm) | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループの繰り返し位置決め精度 | ピッチ/ヨー/ロール (μrad) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 荷重 (400g) に対する共振周波数 (Hz±20%) | キャリングキャパシティ (kg±5) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | 重量 (g±5%) |
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要見積もり | X、Y、Z | 3軸制御 | XY80/Z64 | XY100/Z80 | SGS | 50×50 | 94×94×24.5 | 3 | XY0.2/Z0.1 | XY0.02/Z0.02%F.S. | ≦30 | XY220/Z160 | XY110/Z80 | 0.4 | XY3.6/Z1.8 | スチール、アルミニウム | 420 |
