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ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S-ワイヤード株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

143.7時間

全型番で同じ値の指標

動作方向

X、Y、Z

駆動制御

3軸制御

移動範囲 (0~120V) (μm±20%)

XY80/Z64

移動範囲 (0~150V) (μm±20%)

XY100/Z80

センサータイプ

SGS

貫通穴サイズ (mm)

50×50

外形寸法 (mm)

94×94×24.5

クローズド/オープンループ分解能 (nm)

3

閉ループ直線性 (%F.S.)

XY0.2/Z0.1

クローズドループの繰り返し位置決め精度

XY0.02/Z0.02%F.S.

ピッチ/ヨー/ロール (μrad)

≦30

無負荷時共振周波数 (Hz±20%)

XY220/Z160

荷重 (400g) に対する共振周波数 (Hz±20%)

XY110/Z80

キャリングキャパシティ (kg±5)

0.4

静電容量 (μF±20%)

XY3.6/Z1.8

素材

スチール、アルミニウム

重量 (g±5%)

420

この製品について

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、貫通穴のある直線ピエゾ位置決めプラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます。ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは高い信頼性と高い分解能を持ち、非常に優れた移動直線性と平面性、およびより高い機械的強度を備えています。主に顕微鏡ステッピング移動などで使用され、光学システムの解像度を向上させるための高速なステップおよび安定した移動を実現します。これには、カメライメージングプロセス技術や生物認識技術など、光学系におけるアプリケーションが含まれます。また、特徴的な点として、中央に大きな貫通穴があるということが挙げられます。これにより、より良い光学パス条件を光学系に提供することができます。 ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、透光精密光学デバイスの位置合わせと調整に主に使用され、顕微鏡や分析機器と組み合わせて位置合わせや測定に使用されます。これには、走査プローブ顕微鏡 (例 原子間力顕微鏡) 、ナノポジショニング、計測、生物学研究、マイクロエレクトロニクス、マイクロ操作、精密制御などの応用があります。 ピエゾ位置決めステージXD107シリーズは、サンプル顕微鏡のイメージング用途向けに、中央に正方形の貫通穴を持つ3軸ピエゾ位置決めステージです。

  • 型番

    XD107.XY100Z20S

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ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S XD107.XY100Z20Sの性能表

商品画像 価格 (税抜) 動作方向 駆動制御 移動範囲 (0~120V) (μm±20%) 移動範囲 (0~150V) (μm±20%) センサータイプ 貫通穴サイズ (mm) 外形寸法 (mm) クローズド/オープンループ分解能 (nm) 閉ループ直線性 (%F.S.) クローズドループの繰り返し位置決め精度 ピッチ/ヨー/ロール (μrad) 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) 荷重 (400g) に対する共振周波数 (Hz±20%) キャリングキャパシティ (kg±5) 静電容量 (μF±20%) 素材 重量 (g±5%)
ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm XD107シリーズ XD107.XY100Z20S-品番-XD107.XY100Z20S 要見積もり X、Y、Z 3軸制御 XY80/Z64 XY100/Z80 SGS 50×50 94×94×24.5 3 XY0.2/Z0.1 XY0.02/Z0.02%F.S. ≦30 XY220/Z160 XY110/Z80 0.4 XY3.6/Z1.8 スチール、アルミニウム 420

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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返答率

100.0%


返答時間

143.7時間

会社概要

ワイヤード株式会社は、オーダーメイドのシステム装置・位置決め装置を設計・開発・製造するメーカーです。 1999年に創立し、長年の位置決め装置開発のノウハウにより、ニーズに応じたカスタム検査装置、光学システム製品、光学設...

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  • 本社所在地: 東京都

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