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返答率
100.0%
返答時間
143.7時間
動作温度
室温、4K
動作の方向性
X、Y、Z
移動範囲 (μm±20%)
80 (0~60V) 、25 (0~150V)
オープンループ分解能 (nm)
1、0.3
無負荷時共振周波数 (Hz±20%)
350、350
静電容量 (μF±20%)
XY5.5・Z11、XY0.75・Z1.5
主材料
ステンレススチール、チタン
ワイヤー・ケーブル
周囲温度ライン、フォスファーブロンズツイストペア
作業環境
-20~80、低温4K強磁場30T・超高真空2E-11mbar
キャリング
100g、100g
型番
P13A.XYZ80K取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 動作温度 | 動作の方向性 | 移動範囲 (μm±20%) | オープンループ分解能 (nm) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 静電容量 (μF±20%) | 主材料 | ワイヤー・ケーブル | 作業環境 | キャリング |
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要見積もり | 室温、4K | X、Y、Z | 80 (0~60V) 、25 (0~150V) | 1、0.3 | 350、350 | XY5.5・Z11、XY0.75・Z1.5 | ステンレススチール、チタン | 周囲温度ライン、フォスファーブロンズツイストペア | -20~80、低温4K強磁場30T・超高真空2E-11mbar | 100g、100g |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000