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返答率
100.0%
返答時間
80.2時間
運動軸方向
X、Y、Z
移動範囲 (0～120V) (μm±20%)
40/シャフト
移動範囲 (0～150V) (μm±20%)
50/シャフト
センサータイプ
SGS/-
貫通穴サイズ (mm)
84×65
クローズド/オープンループ分解能 (nm)
1.5/0.5
閉ループ直線性 (%F.S.)
0.1/-
クローズドループ繰り返し位置決め精度 (%F.S.)
0.05/-
ピッチ/ヨー/ロール (μrad)
<20
プッシュ/プル (N)
25/-
運動方向剛性 (N/μm±20%)
0.5
無負荷時共振周波数 (Hz±20%)
X499/Y589/Z470
閉ループ/開ループ無負荷ステップ時間
30/6ms±20%
キャリングキャパシティ (kg)
0.5
静電容量 (μF±20%)
3.2/シャフト
素材
スチール、アルミニウム
重量 (g±5%)
1,400
型番
P79.XYZ50S-B2取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品154点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 運動軸方向 | 移動範囲 (0～120V) (μm±20%) | 移動範囲 (0～150V) (μm±20%) | センサータイプ | 貫通穴サイズ (mm) | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループ繰り返し位置決め精度 (%F.S.) | ピッチ/ヨー/ロール (μrad) | プッシュ/プル (N) | 運動方向剛性 (N/μm±20%) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 閉ループ/開ループ無負荷ステップ時間 | キャリングキャパシティ (kg) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | 重量 (g±5%) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | X、Y、Z | 40/シャフト | 50/シャフト | SGS/- | 84×65 | 1.5/0.5 | 0.1/- | 0.05/- | <20 | 25/- | 0.5 | X499/Y589/Z470 | 30/6ms±20% | 0.5 | 3.2/シャフト | スチール、アルミニウム | 1,400 |
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ピエゾステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
