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返答率
100.0%
返答時間
0.8時間
対応OS
Microsoft Windows 10
移動範囲 (mm)
X軸:±25[mm], Y軸:±25[mm], Z軸:±10[mm] Yaw軸[RH]:±45[deg], Pitch軸[RV]:±35[deg]
移動分解能 (μm)
X軸:6μm, Y軸:6μm, Z軸:10μmYaw軸[RH]:0.2[deg], Pitch軸[RV]:0.2[deg]
耐荷重 (kg)
2.0
試料台
最大ワーク寸法:250 x 150 x 150 [mm]
通信I/F
USB 2.0 Type-Bコネクタ
電源電圧
AC100V 50/60[Hz]
消費電力 (VA)
100 (PC除く)
動作環境
[気温] 5 - 40 [℃][湿度] 80%以下 結露無き事
ステージ本体 寸法 (mm)
300 (W) ｘ400 (D) ｘ550 (H)
XYZ コントロールボックス 寸法 (mm)
200 (W) ｘ200 (D) ｘ145 (H)
RH,RV コントロールボックス 寸法 (mm)
200 (W) ｘ200 (D) ｘ145 (H)
重量 (kg)
ステージ本体:約16.0 XYZコントロールボックス:約3.0 RH,RVコントロールボックス:約2.9
拡張機能
DLLファイルの提供・ステージの変更
型番
CMS-1シリーズ
多軸電動ステージ制御システムCMS-1取扱企業
壺坂電機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応OS | 移動範囲 (mm) | 移動分解能 (μm) | 耐荷重 (kg) | 試料台 | 通信I/F | 電源電圧 | 消費電力 (VA) | 動作環境 | ステージ本体 寸法 (mm) | XYZ コントロールボックス 寸法 (mm) | RH,RV コントロールボックス 寸法 (mm) | 重量 (kg) | 拡張機能 | 付属品 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | Microsoft Windows 10 | X軸:±25[mm], Y軸:±25[mm], Z軸:±10[mm] Yaw軸[RH]:±45[deg], Pitch軸[RV]:±35[deg] | X軸:6μm, Y軸:6μm, Z軸:10μmYaw軸[RH]:0.2[deg], Pitch軸[RV]:0.2[deg] | 2.0 | 最大ワーク寸法:250 x 150 x 150 [mm] | USB 2.0 Type-Bコネクタ | AC100V 50/60[Hz] | 100 (PC除く) | [気温] 5 - 40 [℃][湿度] 80%以下 結露無き事 | 300 (W) ｘ400 (D) ｘ550 (H) | 200 (W) ｘ200 (D) ｘ145 (H) | 200 (W) ｘ200 (D) ｘ145 (H) | ステージ本体:約16.0 XYZコントロールボックス:約3.0 RH,RVコントロールボックス:約2.9 | DLLファイルの提供・ステージの変更 |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300駆動方式
リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
