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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX-THK株式会社

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この製品について

■精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX

画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージです。

■小型~大型ワークに対応

トップテーブルサイズ50×50mmから1500×1500mmまでのステージを標準化。XYθモジュールを必要数配置することで更なる大型化への対応も可能です。

■超薄型・軽量

XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

■中抜き構造※2

トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

■高剛性・高精度

XYθモジュールを構成しているクロスLMガイド※1とクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

■主な用途

・FPD製造装置・検査装置 ・半導体製造装置・検査装置 ・スクリーン印刷機・マスク検査装置 ・プリント基板製造装置・検査装置 ・太陽電池製造装置・検査装置 ・電子デバイス製造装置・検査装置 ※1 CMXS1、S2はLMガイドSRSをクロス状に組合わせています。 ※2 中抜き構造はCMX1、2、3のみとなります。

  • 型番

    CMXS1

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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX CMXS1の性能表

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

駆動方式

リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都

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