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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX-THK株式会社

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この製品について

■精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX

高精度でバリエーションが豊富、さまざまな用途に対応可能な精密ステージ

■豊富なバリエーション

さまざまな用途に合わせた3種類のステージ精度があり、標準ストロークは50mmから500mmを用意しています。ジャバラタイプも用意しており、環境に応じた選定が可能です。

■高精度

精密ステージA/AXは精密研削された断面高さの低いコンパクトなLMガイドSRを使用し、多重拘束構造による高精度案内が得られます。SRはラジアル方向の荷重に強いボール接触構造のため水平案内部に最適なLMガイドです。

■ルトアップタイプ

従来の専用サドルを使用したXYの組合わせでなく、1軸ステージの組合わせでストロークが自由に選択可能です。

■長期間高精度を維持

案内部は信頼性に優れたLMガイドを使用し、長期間、精度寿命が得られます。また、送りねじにはボールねじを使用し、ガタのない正確な位置決め送りが可能です。

■オプションの充実

ジャバラ・高速タイプをオプションとしてご用意しております。

  • 型番

    A05 / 50 標準

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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX A05 / 50 標準の性能表

商品画像 価格 (税抜)
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX-品番-A05 / 50 標準 要見積もり

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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1.6時間

会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都

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