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対象流体
気体
センサ方式
熱式巻線センサ
バルブ方式
比例ソレノイドバルブ (非通電時閉)
フルスケール流量 (N2換算)
10SCCM~10SLM
制御範囲
2~100%F.S.
応答性
1sec以内
精度
±1%S.P. (10~100%F.S.) ±0.1%F.S. (2~10%F.S.)
再現性
±0.2%F.S.
動作差圧
50~300kPa
入口最大圧
300kPa (G)
耐圧
1MPa (G)
PI機能
Overshoot ±2%F.S.
Heリークレート
1×10^-11Pa・m3/sec以下
許容周囲温度
5~50℃
精度保証温度
15~40℃
許容保存温度
0~60℃
許容周囲湿度
0~80%RH (結露なきこと)
接ガス部材質
SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni
デジタルインターフェース
DeviceNet®/EtherCAT®
所要電源
11~25VDC (5VA max)
継手・面間寸法
1.125”Wシール 92mm 1/4”VCR相当
重量
約1,000g
型番
ST-500 (100SCCM~10SLM)取扱企業
コフロック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年11月8日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で明快な回答でした
初回対応までの時間への満足度
1.60時間
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電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対象流体 | センサ方式 | バルブ方式 | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 応答性 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | PI機能 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | デジタルインターフェース | 所要電源 | 継手・面間寸法 | 重量 |
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要見積もり | 気体 | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時閉) | 10SCCM~10SLM | 2~100%F.S. | 1sec以内 |
±1%S.P. (10~100%F.S.) ±0.1%F.S. (2~10%F.S.) |
±0.2%F.S. | 50~300kPa | 300kPa (G) | 1MPa (G) | Overshoot ±2%F.S. | 1×10^-11Pa・m3/sec以下 | 5~50℃ | 15~40℃ | 0~60℃ | 0~80%RH (結露なきこと) | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni | DeviceNet®/EtherCAT® | 11~25VDC (5VA max) |
1.125”Wシール 92mm 1/4”VCR相当 |
約1,000g |
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