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XYZストローク
100μm
XYZ分解能
0.1nm
XYZノイズレベル
0.01nm
XYZ位置再現性
0.2nm
リニアリティ (典型値)
0.02%
共振周波数 X, Y, Z
500Hz, 400Hz, 400Hz
剛性 X, Y, Z
0.6N/μm, 0.5N/μm, 0.5N/μm
耐荷重-横向き使用時
1kg
耐荷重-縦向き使用時
0.5kg
センサー
Silicon HR sensor
BIO3サイズ W×L×H
152.5×213×20.45mm
LT3サイズ W×L×H
152.5×193×20.70mm
本体素材
AlまたはInvar
ケーブル長
2m
適応コントローラー
Standard
型番
BIO3/LT3.100取扱企業
株式会社東京インスツルメンツカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年7月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速なご返信、別商品のご提案までスムーズに対応いただきました。
初回対応までの時間への満足度
36.22時間
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ピエゾステージの製品152点中、注目ランキング上位6点
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | XYZストローク | XYZ分解能 | XYZノイズレベル | XYZ位置再現性 | リニアリティ (典型値) | 共振周波数 X, Y, Z | 剛性 X, Y, Z | 耐荷重-横向き使用時 | 耐荷重-縦向き使用時 | センサー | BIO3サイズ W×L×H | LT3サイズ W×L×H | 本体素材 | ケーブル長 | 適応コントローラー |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 100μm | 0.1nm | 0.01nm | 0.2nm | 0.02% | 500Hz, 400Hz, 400Hz | 0.6N/μm, 0.5N/μm, 0.5N/μm | 1kg | 0.5kg | Silicon HR sensor | 152.5×213×20.45mm | 152.5×193×20.70mm | AlまたはInvar | 2m | Standard |
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使用用途が精密位置決めの製品
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000返答率
100.0%
返答時間
29.8時間
企業レビュー
5.0
