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コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ　DSPシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

DSP251 | コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ　DSPシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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排気速度　ガスバラスト無 L/min

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排気速度 ガスバラスト有 L/min

200

到達圧力 ガスバラスト無 Pa

0.5

圧力 ガスバラスト有 Pa

2

接続形式 排気

KF25

電源 相数

単相

電源 接続

平川ヒューテック製CM11

排気速度 ガスバラスト有 L/min

この製品について

■DSP251

・ポータブルタイプ ・小型・軽量・外乱に強い。タイミングギアレス構造により、軽量化を実現。 ・ユーティリティーの利便性向上 ・ガスバラスト機構を標準搭載。空冷タイプのため冷却水の準備が不要。 ・オイルフリー ・タイミングギヤレス構造により、潤滑油を使用しない設計を実現。 ・低騒音 ・タイミングギアレス構造により機械音がない。外装カバーに防音機能を装備。 ・低振動 ・スクリュー形ロータの採用により、排気脈動が発生しない。 ・省エネルギー ・競合他社と比較して、低消費電力を実現。 ・クリーン排気 ・油回転真空ポンプのように油蒸気やパーティクルの逆流がない為、非常にクリーンな排気を実現。 ・高速ポンプダウン ・大気圧付近で大排気速度を実現。 ・安全規格CE適合

■用途

・SEM、リソグラフィ ・医療装置 ・ロードロック／搬送室排気 ・分析機器 ・加速器、イオン源、電子銃排気 ・一般産業 ・PVD ・R&D

  • 型番

    DSP251

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コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ　DSPシリーズ DSP251の性能表

商品画像 価格 (税抜) 排気速度　ガスバラスト無 L/min 排気速度 ガスバラスト有 L/min 到達圧力 ガスバラスト無 Pa 圧力 ガスバラスト有 Pa 接続形式 吸気 接続形式 排気 概略重量kg 電源 相数 電源 電圧 V 電源 電源容量 VA 電源 接続 消費電力 到達時 W 消費電力 最大 W
コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ　DSPシリーズ-品番-DSP251 要見積もり 230 200 0.5 2 KF25 KF25 16 単相 C100-230^±10% 450 平川ヒューテック製CM11 240 380

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