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100.0%
返答時間
106.9時間
移動距離
X=31mm, Y=31mm, Z=6mm, θx=20°, θy=19°, θz=360°
耐荷重
垂直：3N、水平：2.5N
外形
90x90x79.5mm
重量
490g
分解能 (Closed loop時)
1nm、3μrad
繰返し精度 (Closed loop時)
±50nm
型番
TRIPOD 52-6DoFシリーズ
ヘキサポッドステージ TriPod取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 移動距離 | 耐荷重 | 外形 | 重量 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
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要見積もり | X=31mm, Y=31mm, Z=6mm, θx=20°, θy=19°, θz=360° | 垂直：3N、水平：2.5N | 90x90x79.5mm | 490g | 1nm、3μrad | ±50nm |
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使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測構造
単一軸ステージ 複数軸ステージ ガイドレール型用途
高精度測定用 表面加工用 ラボ実験用 光学調整用ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000返答率
100.0%
返答時間
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