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耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージ SHLシリーズ SHL-1D80N-1-株式会社フィジックステクノロジー

株式会社フィジックステクノロジーの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

65.4時間

全型番で同じ値の指標

移動距離

1mm

最大耐荷重

80N

外形

41x86x50mm

重量

340g

最大速度

1mm/s

分解能 (Closed loop時)

1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ)

繰返し精度 (Closed loop時)

±40nm

この製品について

SmarAct社では、最大8kgの耐荷重に対応したZ軸専用のCHS/SHLシリーズをラインアップに追加しました。CHL/SHLシリーズは、コンパクトな設計を維持しながら、独立したガイドレールとフィードバックセンサによる制御により高い分解能での動作を行うことができます。

■SHLシリーズ

SHL-1D80N-1は、耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージです。高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

  • 型番

    SHL-1D80N-1

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耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージ SHLシリーズ SHL-1D80N-1 SHL-1D80N-1の性能表

商品画像 価格 (税抜) 移動距離 最大耐荷重 外形 重量 最大速度 分解能 (Closed loop時) 繰返し精度 (Closed loop時)
耐荷重80Nで移動ストローク1mmのZ軸ステージ SHLシリーズ SHL-1D80N-1-品番-SHL-1D80N-1 要見積もり 1mm 80N 41x86x50mm 340g 1mm/s 1nm (Sセンサ) 、4nm (Lセンサ) ±40nm

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移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 250 250 - 1,000 1,000 - 1,500

可搬質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 800

分解能 μm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4

真直度と平坦度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 31

最大速度 mm/秒

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 40 40 - 250 250 - 251

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県

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