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LED 個別半導体用高速Auワイヤボンダ UTC-5100-ヤマハロボティクスホールディングス株式会社

ヤマハロボティクスホールディングス株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

39.3時間

全型番で同じ値の指標

品名

ワイヤボンダ

ボンディング精度

±3.0μm (3σ) (試料および温度条件による)

ボンディングスピード

42ms/0.7mmワイヤ (45ms/2mmワイヤ) (ループコントロールあり。荷重検出モード使用時) 当社標準サンプルによる

ボンディングワイヤ長

最大4mm (デバイスの条件により変わる)

制御分解能分解能

・XYテーブル 0.1μm ・Z軸 0.1μm

振動抑制方式

Shinkawa NRSによる無反動サーボシステム

ボンディングエリア

・X 66mm-カメラオフセット ・Y 95mm-カメラオフセット

ワイヤ径

金線 φ18~50μm

ボンド荷重

3~1,000gf

ボンディングワイヤ数

最大12,000ワイヤ

ローダー アンローダ

フルオートマガジンスタッカ方式 (オプションでストッカ方式選択可能)

ワークサイズ

・幅 20~102mm ・長さ95~300mm ・厚さ0.1~0.5mm (ワークの種類により異なる) (ワークの厚さを変更する際、部品変更が必要な場合がる)

生産管理

生産管理画面による稼働率管理他

駆動源 入力電源

単相 AC100V±5% 50/60Hz (その他の電圧はトランスが必要)

駆動源 消費電力

約1.2kVA (1.1kW)

駆動源 エアー

500kPa (5kgf/cm2) 102L/min

駆動源 真空

-74kPa (-550mmHg) 以下 (ゲージ圧)

装置寸法

・W 1,244mm ・D 964mm ・H 2,092mm

質量

約520kg

この製品について

■概要

幅広フレームに対応し、LED、ディスクリート生産に適した高速ワイヤボンダ

■特長

・X、Y、Zモータを一新し高速ボンディング。42ms/0.7mm (45ms/2mm) を実現したプラットフォーム ・ボンディング精度±3.0μm (3σ) を実現 ・Yボンディングエリア95mmを確保し、102mm×300mmのフレーム搬送が可能 ・X方向同時検出、Y方向同時検出に対応 ・Cuキットの追加でCuワイヤに対応 (オプション) 使用例

■細い鎖でつなぐCapillary Wedge Bonding (CWB)

NANDフラッシュメモリは、USBメモリからクラウドサーバまで記録媒体として広く利用されており、大容量化のために多数のダイを重ねてボンディングされる。多段に重ねたダイの信号は、ワイヤボンディングされた金属細線によって伝達される。一般的に、段数分のボンディングとワイヤの切断を繰り返す手間のかかる作業となっており、生産性向上のボトルネックとなっていた。 これに対し新川では、ワイヤの切断を行わず、一気に多段接続を可能にするCapillary Wedge Bonding (CWB) 技術を開発した。本技術により、圧倒的はタクト短縮が見込めるため、新川としては広くお客様にご利用頂けるよう、本技術の改善を続けている。

■「つなぐ」から「つくる」へ電子部品製作機器としてのワイヤボンダ

ワイヤボンダは、電気信号を伝えるワイヤをつなぐための装置として活躍しているが、さらなる発展が可能である。 数々の『つなぐ』経験から、ワイヤを自在に操ることが可能となっており、これを活用すれば電子部品の重要なパーツであるコイルの作成などの電子部品制作装置への進化を遂げることができる。たとえば、特定の定数を持つコイルの生成や回路の調整のための補足的なコイルの作成を行える。 新川では、ワイヤボンダ技術をベースとした新たな試みにこれからも挑み続ける。

  • 型番

    UTC-5100

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LED 個別半導体用高速Auワイヤボンダ UTC-5100 UTC-5100の性能表

商品画像 価格 (税抜) 品名 ボンディング精度 ボンディングスピード ボンディングワイヤ長 制御分解能分解能 振動抑制方式 ボンディングエリア ワイヤ径 ボンド荷重 ボンディングワイヤ数 ローダー アンローダ ワークサイズ 生産管理 駆動源 入力電源 駆動源 消費電力 駆動源 エアー 駆動源 真空 装置寸法 質量
LED 個別半導体用高速Auワイヤボンダ UTC-5100-品番-UTC-5100 要見積もり ワイヤボンダ ±3.0μm (3σ) (試料および温度条件による) 42ms/0.7mmワイヤ (45ms/2mmワイヤ) (ループコントロールあり。荷重検出モード使用時) 当社標準サンプルによる 最大4mm (デバイスの条件により変わる) ・XYテーブル 0.1μm
・Z軸 0.1μm
Shinkawa NRSによる無反動サーボシステム ・X 66mm-カメラオフセット
・Y 95mm-カメラオフセット
金線 φ18~50μm 3~1,000gf 最大12,000ワイヤ フルオートマガジンスタッカ方式 (オプションでストッカ方式選択可能) ・幅 20~102mm
・長さ95~300mm
・厚さ0.1~0.5mm (ワークの種類により異なる) (ワークの厚さを変更する際、部品変更が必要な場合がる)
生産管理画面による稼働率管理他 単相 AC100V±5% 50/60Hz (その他の電圧はトランスが必要) 約1.2kVA (1.1kW) 500kPa (5kgf/cm2) 102L/min -74kPa (-550mmHg) 以下 (ゲージ圧) ・W 1,244mm
・D 964mm
・H 2,092mm
約520kg

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ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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