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フォトリソ用小型現像装置-アームスシステム株式会社

アームスシステム株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

62.4時間

全型番で同じ値の指標

処理枚数

150φ又は100Sq基板 (最大) :1枚、1インチφ~6インチφ:1枚

プロセス

現像液:1系統、リンス:1系統 (マイクロポンプによる脈動のない圧送ができます)

使用薬液

アルカリ系現像液、アルコール系溶剤

処理時間設定

最小:1秒

基板回転数

0~3000rpm 任意設定

スイングノズル移動量

プログラムによる振角任意設定センタ固定もできます

寸法・重量

本体部:550W×400D×440H (mm) (カバー開閉時740Hmm) 、約33Kg

電源

AC100V 4A

真空

350mmHg以下

局所排気

0.3m3/分

この製品について

スイングノズル式のスプレー現像・パドル現像対応装置など取り揃えております。

■概要

スイングノズル式のスプレー現像・パドル現像対応装置

■特徴

・高性能・低価格・コンパクト卓上タイプ ・ワークサイズφ1"~φ6" ・液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作 ・薬液圧送ポンプ2系統を内蔵

  • 型番

    DV-200

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フォトリソ用小型現像装置 DV-200の性能表

商品画像 価格 (税抜) 処理枚数 プロセス 使用薬液 処理時間設定 基板回転数 スイングノズル移動量 寸法・重量 電源 真空 局所排気
フォトリソ用小型現像装置-品番-DV-200 要見積もり 150φ又は100Sq基板 (最大) :1枚、1インチφ~6インチφ:1枚 現像液:1系統、リンス:1系統 (マイクロポンプによる脈動のない圧送ができます) アルカリ系現像液、アルコール系溶剤 最小:1秒 0~3000rpm 任意設定 プログラムによる振角任意設定センタ固定もできます 本体部:550W×400D×440H (mm) (カバー開閉時740Hmm) 、約33Kg AC100V 4A 350mmHg以下 0.3m3/分

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半導体製造装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

62.4時間

会社概要

アームスシステム株式会社は、1997年に設立された顕微鏡メーカーです。 製品の組み立てや検査に使用される実体顕微鏡や、外科手術や眼科手術に使用される手術用顕微鏡、金属や半導体の表面観察を行う工業顕微鏡といった顕微鏡の製...

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  • 本社所在地: 東京都

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