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返答率
100.0%
返答時間
33.0時間
測定範囲
50mm x 50 mm
分解能
0.01um (最小ステップサイズ)
繰り返し精度
< 1um
位置決め精度
um単位の絶対精度：測定長/40+2.5
重量
3,500g
搭載可能重量
5,000g
仕様
透過光用、反射光用、ハードネステスター用
型番
MT mot 50x50シリーズ
電動XY測定ステージ取扱企業
フォトニックインストゥルメンツ株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 測定範囲 | 分解能 | 繰り返し精度 | 位置決め精度 | 重量 | 搭載可能重量 | 仕様 |
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要見積もり | 50mm x 50 mm | 0.01um (最小ステップサイズ) | < 1um | um単位の絶対精度：測定長/40+2.5 | 3,500g | 5,000g | 透過光用、反射光用、ハードネステスター用 |
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使用用途が検査測定の製品
自動ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
