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水晶デバイス製造 周波数調整機 レーザートリミング装置-株式会社PFA

株式会社PFAの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

92.9時間

全型番で同じ値の指標

対象ワーク

音叉型水晶振動子ウエハ (機種変更は、専用部品の交換により対応可能です。)

対象ワークサイズ

4インチウエハ以下

同時測定数

同時プロービング数:80チップ以下

画像位置補正

チップ位置

部材供給・収納

ローダ:マガジンよりウエハ供給、アンローダ:ウエハをマガジン収納

サイクルタイム

約0.5秒/個 ※チップの個数、加工膜の厚み、加工量、加工回数によってタクトは変動します。

外形寸法 NGチップ折り取り機能付き

W1,400×D1,600×H1,800mm (ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く)

外形寸法 NGチップ折り取り機能無し

W1,000×D1,500×H1,750mm (ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く)

この製品について

■概要

・ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザートリミングして発振周波数を調整する装置です。 ・複数同時測定により高スループットを実現しています。

■特長

・グリーンレーザー搭載による高速トリミング動作を実現。 ・複数個同時測定により高スループットを実現しています。 ・高速・高精度・高信頼性測定回路採用。 ・ローダ/アンローダにより自動搬送を実現しています。 ・生産管理情報をリアルタイムで表示します。 ・プローブ自動クリーニング機構付き。

■使用例

ウエハ上に形成された音叉型水晶振動子の金属薄膜をレーザーで除去して発振周波数を調整する装置です。

■オプション対応

・同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下の増設可能。 ・専用治具交換より異なるウエハチップの複数品種対応。 ・お客様の製品に最適なトリミング条件をご提案いたします。ご相談ください。 例) ピコ秒/ナノ秒レーザーや近赤外/グリーンレーザーなど ※ 性能改良のため、外観及び仕様の一部を変更することがありますのでご了承ください。

  • 型番

    PLT-10

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水晶デバイス製造 周波数調整機 レーザートリミング装置 PLT-10の性能表

商品画像 価格 (税抜) 対象ワーク 対象ワークサイズ 同時測定数 画像位置補正 部材供給・収納 サイクルタイム 外形寸法 NGチップ折り取り機能付き 外形寸法 NGチップ折り取り機能無し オプション
水晶デバイス製造 周波数調整機 レーザートリミング装置-品番-PLT-10 要見積もり 音叉型水晶振動子ウエハ (機種変更は、専用部品の交換により対応可能です。) 4インチウエハ以下 同時プロービング数:80チップ以下 チップ位置 ローダ:マガジンよりウエハ供給、アンローダ:ウエハをマガジン収納 約0.5秒/個 ※チップの個数、加工膜の厚み、加工量、加工回数によってタクトは変動します。 W1,400×D1,600×H1,800mm (ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く) W1,000×D1,500×H1,750mm (ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く)

同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下に増設可能
専用治具交換より複数品種対応


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使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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返答時間

92.9時間

  • 本社所在地: 埼玉県
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