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返答率
100.0%
返答時間
45.1時間
処理能力
φ2インチ~φ8インチまたは、150mmx150mm (角形) 1枚
プログラム設定
1プログラム最大99ステップ/50プログラムを保存可能
回転数
0~3,000rpm
開店時間
0~999sec
チャンバー
SUS304製
ノズル
現像2系統、リンス1系統 回転アーム方式 (2軸)
使用薬液
アルカリ溶剤、アルコール系溶剤
真空スイッチ開閉圧
-300mmmHg以下
局所排気
排気ポート (0.3m3/分)
電源
AC100 8A 50/60Hz
外形寸法 本体 (mm)
820wx520Dx560H
重量
約65kg
型番
ADE-3000Sシリーズ
小型現像装置 ADE-3000S取扱企業
アクテス京三株式会社カテゴリ
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半導体製造装置の製品171点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 処理能力 | プログラム設定 | 回転数 | 開店時間 | チャンバー | ノズル | 使用薬液 | 真空スイッチ開閉圧 | 局所排気 | 電源 | 外形寸法 本体 (mm) | 重量 |
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要見積もり | φ2インチ~φ8インチまたは、150mmx150mm (角形) 1枚 | 1プログラム最大99ステップ/50プログラムを保存可能 | 0~3,000rpm | 0~999sec | SUS304製 | 現像2系統、リンス1系統 回転アーム方式 (2軸) | アルカリ溶剤、アルコール系溶剤 | -300mmmHg以下 | 排気ポート (0.3m3/分) | AC100 8A 50/60Hz | 820wx520Dx560H | 約65kg |
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半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 1 - 2 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260返答率
100.0%
返答時間
45.1時間